莱宝干泵很早就出现了,但没有明确的定义。就代替油封式机械泵来说,一般通用的说法是:能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作;在泵的抽气流道(如泵腔)中,不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通,能连续向大气中排气的泵,即称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。德国莱宝LEYBOLD干泵腔内无任何润滑油，四对断面相同的转子，分别在它们各自的泵腔内固定在两个平行的轴上，用一对时限齿轮把它们连接并调整到使它们相互不接触，有一定的间隙。德国莱宝LEYBOLD干泵工作时，泵腔容积不断周期性地发生变化，由大到小和由小到大，这样利用气体通道的启闭作用实现抽气作用，并且采用拼接成套的结构，细小杂质和灰尘可通过气道和气体一起排出泵外，泵的连续工作zui大入口压力为5000Pa，可直排大气。
的分类：
现在市场上提供的干泵种类很多。就其基本原理来分,只有两类,即:
①容积式的无油真空泵,例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种的极限压力一般为0.1～10Pa,抽速为0.01～0.04m3?s。
②动量传输式的无油真空泵,如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接,在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵,可从大气压抽到1022Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构,多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa,抽速为0.02～0.15m3?s。牵引型干泵也属于动量传输式的干泵。
这些干泵和油封式机械泵相比,达到同样的极限压力,其残余气体成分则全然不同,经分析结果明,油封泵的残余气体,CnHm气体(碳氢化合物气体)为其主要成分,而干式泵的残余气体为空气的组成成分。这就证实了干泵的抽气不再有油的污染了。
有些干泵在结构设计上,如泵的传动齿轮和轴承等仍在使用润滑油,也有用合成油,如PFPE油和其油脂等,并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔内不存在,严格来说不是全无油的泵,但经分析,这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的,并无影响。
优势：从大气进入极限真空可保持连续运行；出色的热曲线和温度控制；可耐受液体和微粒；不会造成工艺污染；性价比高且环保；功率低；不产生污水；干式运行机械装置；设计追求可靠性和易维护；可以用水或溶液清洗；去除了压缩板，可以更好地处理灰尘；转子设计均衡；标准附件模块；油经过冷却和过滤；
Ecodry活塞式干泵的主要技术参数：
抽速：14m3/h～30m3/h
极限真空度：5.5×10-2mbar
排水蒸气能力：25mbar(zui大)
Ecodrg活塞式干泵的主要特点：
1、结构简单，易于操作和维护；
2、工作过程中不产生粉尘；
3、耐粉尘，排水蒸气能力强；
4、低能耗，坚固耐用，可靠性高；
5、可以选配变频器增大抽速；
典型应用：质谱仪，电子显微镜，照明，镀膜，loadlock，无油高真*级泵等。

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